ISO 14644 根據懸浮粒子濃度這個**指標來劃分潔凈室（區）及相關受控環境中空氣潔凈度的等級，并且僅考慮粒徑限值（低限）在0.1um～5.0um 范圍內呈累積分布的粒子群。
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空氣潔凈度等級（N）
|
大于或等于所標粒徑的粒子**大濃度限值（個/每立方米空氣粒子）
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|||||
|
0.1 um
|
0.2 um
|
0.3 um
|
0.5um
|
1um
|
5 um
|
|
|
ISO Class 1
|
10
|
2
|
|
|
|
|
|
ISO Class 2
|
100
|
24
|
10
|
4
|
||
|
ISO Class 3
|
1 000
|
237
|
102
|
35
|
8
|
|
|
ISO Class 4
|
10 000
|
2 370
|
1 020
|
352
|
83
|
|
|
ISO Class 5
|
100 000
|
23 700
|
10 200
|
3 520
|
832
|
29
|
|
ISO Class 6
|
1 000 000
|
237 000
|
102 000
|
35 200
|
8 320
|
293
|
|
ISO Class 7
|
|
352 000
|
83 200
|
2 930
|
||
|
ISO Class 8
|
|
3 520 000
|
832 000
|
29 300
|
||
|
ISO Class 9
|
|
35 200 000
|
8 320 000
|
293 000
|
||
|
注：由于涉及測量過程的不確定性，故要求用不超過三個有效的濃度數字來確定等級水平。
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||||||
空氣潔凈度分級標準： GB/T16292-1996 （中G標準）
|
粒徑、數值潔凈度級別
|
塵埃**大允許數/立方米
|
微生物**大允許數
|
||
|
≥0.5um
|
≥5um
|
浮游菌/立方米
|
沉降菌/皿
|
|
|
100 級
|
3,500
|
0
|
5
|
1
|
|
10,000 級
|
350,000
|
2,000
|
100
|
3
|
|
100,000 級
|
3,500,000
|
20,000
|
500
|
10
|
|
300,000 級
|
10,500,000
|
60,000
|
—
|
15
|
美G聯邦標準 209D 潔凈室分級：（已停用）
|
空氣潔凈度等級（N）
|
大于或等于所標粒徑的粒子**大濃度限值（個/每立方米空氣粒子）
|
||||
|
0.1 um
|
0.2 um
|
0.3 um
|
0.5um
|
5 um
|
|
|
1
|
35
|
7.5
|
3
|
1
|
|
|
10
|
350
|
75
|
30
|
10
|
|
|
100
|
|
750
|
300
|
100
|
|
|
1000
|
|
|
|
1000
|
7
|
|
10000
|
|
|
|
10000
|
70
|
|
100000
|
10000
|
700
|
|||
英G 5295 標準潔凈室和空氣凈化裝置分級：
|
空氣潔凈度等級（N）
|
大于或等于所標粒徑的粒子**大濃度限值（個/每立方米空氣粒子）
|
||||
|
0.3um
|
0.5um
|
5um
|
10um
|
25 um
|
|
|
C
|
100
|
35
|
0
|
|
|
|
D
|
1000
|
350
|
0
|
||
|
E
|
10000
|
3500
|
0
|
||
|
F
|
|
3500
|
0
|
||
|
G
|
100000
|
35000
|
200
|
0
|
|
|
H
|
|
35000
|
200
|
0
|
|
|
J
|
|
350000
|
2000
|
450
|
0
|
|
K
|
|
3500000
|
20000
|
4500
|
500
|
|
L
|
|
|
200000
|
45000
|
5000
|
|
M
|
|
450000
|
50000
|
||
各種G際標準的比較：
|
美G聯邦
|
美G聯邦
|
英G標準
|
澳大利亞標準
|
法G標準
|
德G標準
|
G際標準
|
日本標準
|
|
標準209D
|
標準209E
|
BS5295
|
AS1386
|
AFNORX44101
|
VDI2083
|
14644-1
|
JACA24
|
|
|
|
|
|
|
|
1
|
1
|
|
|
|
|
|
—
|
0
|
2
|
2
|
|
1
|
M1.5
|
C
|
0.035
|
—
|
1
|
3
|
3
|
|
10
|
M2.5
|
D
|
0.35
|
—
|
2
|
4
|
4
|
|
100
|
M3.5
|
E
|
3.5
|
4000
|
3
|
5
|
5
|
|
1000
|
M4.5
|
G
|
35
|
—
|
4
|
6
|
6
|
|
10000
|
M5.5
|
J
|
350
|
400000
|
5
|
7
|
7
|
|
100000
|
M6.5
|
K
|
3500
|
4000000
|
6
|
8
|
8
|
|
|
|
M
|
|
|
7
|
9
|
|
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